高硬度(莫氏硬度9.2,僅次于金剛石和立方氮化硼):適合加工高硬度的光學(xué)玻璃(如K9、硼硅酸鹽玻璃等)。
鋒利的多角形顆粒:切削效率高,能實(shí)現(xiàn)快速去除材料并逐步細(xì)化表面。
化學(xué)穩(wěn)定性:耐酸堿,在拋光過程中不易與玻璃或拋光液發(fā)生反應(yīng)。
熱導(dǎo)率高:有助于散熱,減少拋光過程中的熱變形。
粗拋階段:使用較粗粒徑(如W20-W40,約20-40μm)的綠碳化硅微粉,快速去除玻璃表面的加工痕跡。
精拋階段:采用更細(xì)的粒徑(如W5-W10,約5-10μm)進(jìn)一步降低表面粗糙度,為后續(xù)超精拋(如氧化鈰拋光)做準(zhǔn)備。
適用玻璃類型:常用于普通光學(xué)玻璃、濾光片、棱鏡等,但對超低膨脹玻璃(如石英玻璃)可能需結(jié)合其他磨料。
粒徑分布:需嚴(yán)格控制(如符合FEPA或JIS標(biāo)準(zhǔn)),避免大顆粒劃傷表面。
懸浮性:需與拋光液(如水或油基)良好混合,保持均勻的磨料分布。
純度:高純度(≥99%)綠碳化硅可減少雜質(zhì)導(dǎo)致的劃痕。
拋光壓力與速度:需根據(jù)玻璃硬度和磨料濃度調(diào)整,避免壓力過大導(dǎo)致亞表面損傷。
冷卻與清潔:及時(shí)清除拋光碎屑,防止二次劃傷。
后續(xù)處理:綠碳化硅拋光后通常需切換至更軟的磨料(如氧化鈰)進(jìn)行最終拋光。
** vs 金剛石微粉**:
金剛石硬度更高,但成本昂貴,多用于超硬材料(如紅外光學(xué)晶體)。
綠碳化硅性價(jià)比更高,適合大部分光學(xué)玻璃。
** vs 氧化鈰**:
氧化鈰化學(xué)機(jī)械拋光(CMP)效果更細(xì)膩,但切削率低,常作為綠碳化硅后的精拋步驟。